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目前稀土抛光粉应该是应用到硅片的抛光,可目前国内是没有企业能够做到,是指所抛的工件,价格贵

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摘要: 本发明公开了一种稀土抛光粉及其制造方法,该抛光粉作为研磨材料,含有氧化铈CeO2、氧化镧La2O3、氧化镨Pr6O11,其稀土总量TREO在90wt%以上,同时87